传日系光刻胶大厂断供,国产光刻胶概念股集体大涨!

2023-03-09 芯智讯

3月8日消息,今日业内传出消息称,某日本某光刻胶大厂已经执行美国“实体清单”的**要求,对我国**某存储晶圆厂断供了KrF光刻胶。

有业内人士向芯智讯表示,消息属实。但并未透露更多细节。

芯智讯随后也有联系相关国产存储晶圆厂商内部人士,对方表示“不清楚”。

受该传闻影响,今日下午,A股开盘后,光刻胶相关概念股集体大涨。截至收盘,容大感光上涨20%、南大光电上涨9.9%、晶瑞电材上涨6.42%、上海新阳上涨4.34%、彤程新材上涨4.03%、华懋科技上涨3.81%。

全球光刻胶市场格局:日美厂商占据垄断地位

众所周知,光刻胶是半导体芯片制造过程中所必须的关键材料。由于目前光刻机曝光光源一共有六种,分别是紫外全谱(300~450nm)、 G 线(436nm)、 I 线(365nm)、深紫外(DUV,包括 248nm 和 193nm)和极紫外(EUV),相对应于各曝光波长的光刻胶也应运而生,对应分别为,g 线光刻胶、i 线光刻胶、KrF光刻胶、 ArF光刻胶、EUV光刻胶。

从全球光刻胶市场来看,根据 TOK 和 Fujifilm 数据显示,2020 年各细分半导体光刻胶产品厂商市场主要**美厂商所占据:

g/i 线:东京应化占比 25.2%,陶氏杜邦占比 19.1%,住友化学占比 15.7%;

KrF:东京应化占比 31.4%,信越化学占比 21.9%,合成橡胶占比 20.9%,陶氏杜邦占比 10.9%;

ArF:合成橡胶(JSR)占比24.9%,信越化学占比 21.8%,住友化学占比 16.8%,东京应化占比15.8%;

EUV:东京应化占比51.8%,另外合成橡胶(JSR)也有不小的份额。

国产半导体光刻胶供应情况:

虽然近年来,随着国产半导体制造业务发展,国产光刻胶厂商也取得了一些突破,但是在中光刻胶市场仍是相对较弱。

具体来说,低端的中g线/i线光刻胶自给率约为20%,KrF光刻胶自给率不足5%,而高端的ArF光刻胶则主要依赖于进口,是国内半导体的卡脖子技术之一。至于EUV光刻胶,由于美国的阻挠,国内目前无法进口EUV光刻机,因此国产EUV光刻胶的开发自然也无从谈起。

去年5月,日本光刻胶巨头JSR的首席执行官埃里克•约翰逊(Eric Johnson)在接受采访时曾表示,尽管我国**在努力推动芯片的自给自足,但我国半导体产业必要的基础设施不足,比如很难掌握基于极紫外(EUV)光刻的复杂芯片制造技术,发展先进制程的芯片制造技术将非常困难

对于我国在光刻胶领域的追赶,以及希望在高端光刻胶技术上的突破,约翰逊认为,即便我国获得相关化学成分的确切资料,但在纯度、精度及制造上都非常困难,且我国也没有供应链支持。但我国当局积极投资成熟的芯片技术,也是不容忽视的一部分,“人们还没充分意识到,我国有多少机会可以不依赖这些先进制程。”

国产光刻胶厂商布局与最新进展:

目前国产g/i 线光刻胶供应商主要有晶瑞电材(苏州瑞红)、彤程新材(北京科华),总体在全球市场份额约10%;

在KrF光刻胶方面,国内的彤程新材(北京科华)、上海新阳、晶瑞电材(苏州瑞红)、徐州博康(华懋科技持有约26%股份)等都有布局,但实现量产供货的却不多,整体市场份额不到1%。

在ArF光刻胶方面,国内的南大光电、晶瑞电材(苏州瑞红)、彤程新材(北京科华)、上海新阳、徐州博康(华懋科技持有约26%股份)等也都有布局,但没有实现大批量量产供货。

彤程新材

资料显示,彤程新材旗下北京科华微电子材料有限公司半导体光刻胶等业务2021年1-9月份实现业务订单销售9,375.85万元,同比增长51.6%,半导体用G/I线光刻胶产品销售额较上年同期增长61.78%,KrF光刻胶产品销售额较上年同期增长226.69%;彤程电子年产1.1万吨半导体、平板显示用光刻胶及2万吨相关配套试剂项目进展顺利,预计2022年开始分批投产。

2021年8月,彤程新材宣布使用自筹资金6.9853亿元,投资建设“ArF高端光刻胶研发平台建设项目”。本项目建设周期为2.5年,预计于2023年12月完成研发平台建设,项目预计于2023年末建设完成。

2023年2月17日,彤程新材再度在投资者平台上表示,“ArF高端光刻胶研发平台建设项目”预计于2023年末建设完成。

值得一提的是,在2021年11月8日,北京科华微电子材料有限公司宣布与光刻胶大厂杜邦电子与工业事业部开展一项合作计划,为我国集成电路芯片制造商提供高性能光刻材料。凭借双方公司的优势,此项合作旨在满足行业对先进光刻胶和其它光刻材料的需求。

南大光电

宁波南大光电已建成年产25吨的ArF(干式和浸没式)光刻胶产品生产线;研发的ArF光刻胶产品在2021年已分别通过一家存储芯片制造企业和一家逻辑芯片制造企业的客户认证。

2021年7月初,南大光电在互动平台上表示,公司旗下的ArF光刻胶产品拿到小批量订单,不过他们没有透露具体的客户名单。今年2月初,南大光电再度在互动平台上表示,子公司宁波南大光电正在积极开展ArF光刻胶的客户验证工作,已有两款产品通过验证,目前有多款产品正在多家客户进行认证。南大光电近日也曾对外表示,公司正抓紧ArF光刻胶产品认证和市场拓展工作,争取尽早实现量产。

上海新阳

2021年6月30日晚间,上海新阳发布公告,宣布公司自主研发的KrF (248nm)厚膜光刻胶产品近日已通过客户认证,并成功取得第一笔订单。2022年12月初,上海新阳在投资者互动平台表示,KrF光刻胶已批量化生产销售,新客户亦在持续开发中。

容大感光

容大感光在近日公布的一份调研纪要中透露,公司目前显示用光刻胶、半导体光刻胶的收入大致相当。公司2022年1-9月干膜光刻胶的收入是923.37万元,公司已具备干膜光刻胶(ArF干式光刻胶)的配方及生产技术,但尚未建设好与之配套的生产厂房及生产线,因此目前公司干膜光刻胶主要生产环节采用外协加工的模式,其产能受限于合作的外协加工厂商。

前,容大感光还宣布定增募资不超过6.7亿元,用于光刻胶及其配套化学品新建项目及补充流动资金。计划建设年产1.2亿平方米感光干膜光刻胶项目,年产1.53万吨显示用光刻胶、半导体光刻胶及配套化学品。预计在项目投产后,满产满销的状态下,感光干膜光刻胶将每年给公司带来约5亿元的收入,显示用光刻胶将每年给公司带来约7亿元收入,半导体光刻胶将每年给公司带来约2亿元收入。

晶瑞电材

晶瑞电材此前曾表示,子公司瑞红(苏州)电子化学品股份有限公司2018年完成了国家重大科技项目02专项“i线光刻胶产品开发及产业化”项目后,i线光刻胶产品向中芯国际、合肥长鑫、华虹半导体、晶合集成等国内知名半导体企业批量供货。高端KrF光刻胶分辨率达到0.25-0.13μm,通过部分重要客户测试,计划2022年底批量供应;ArF光刻胶研发工作正有序开展。眉山晶瑞年产1200吨光刻胶项目计划2022年底建成。

徐州博康成立于2007年,深耕光刻材料领域十余年,实现了从单体、光刻胶专用树脂、光酸剂及终产品光刻胶的国产化自主可控的供应链,在KrF、ArF光刻胶的验证、导入、量产进展效率瞩目,为国内半导体光刻胶领域少有的垂直一体化企业。2021年华懋科技通过产业基金的形式布局光刻材料业务板块,子公司东阳凯阳持有徐州博康约26%股份,是徐州博康第二大股东。

编辑:芯智讯-浪客剑



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