至纯科技——半导体设备技术突破最快的细分领域
作者 | SuperZ
数据支持 | 勾股大数据（www.gogudata.com）
清洗设备是设备领域突破速度最快的，目前国产化率已经维持在10-20%，超过了其他大部分半导体设备。而今天我们要讨论的这家公司是至纯科技（603690.SH）。
1、公司业务介绍
公司的业务主要分为三个部分，分别为高纯工艺**、半导体设备、光传感及光器件。
高纯工艺**是公司的主营业务，而半导体设备中主要是指清洗设备，这是目前公司最大的成长型业务。
其中占比最大的业务（占营收比例62%）是高纯工艺**的设计、制造和安装调试，主要应用于泛半导体领域（IC晶圆制造、平板显示、光伏、LED等）及生物制药、食品等需要超净生产环境的领域。
而在半导体领域，高纯工艺**占晶圆厂半导体CAPEX的5%-8%，国内晶圆厂新增产线将为公司带来发展机遇。公司高纯工艺**目前已经覆盖了28-65nm的设备，并且有14nm的技术储备，已经切入一线用户，包括中芯国际、华虹华力、华润微、士兰微、长江存储等、台积电、三星等。
这一部分业务比较稳定，未来将随着国内晶圆厂新增产线而呈现线性增长的过程，对公司来说也没有太大的变化，因此不在本文重点讨论的范围。
除此之外，清洗设备相关的业务虽然目前占比不高，但由于至纯在这一块的订单和扩产速度都极快，因此但其成长性更值得我们关注。
一般来说，半导体清洗设备对晶圆制造的良品率影响很大，且贯穿半导体工艺的多个环节，例如单晶硅片制造、光刻、刻蚀、沉积等关键制程及封装工艺后均需要进行，大约占所有芯片制造工序步骤1/3以上。
由于在工艺流程中非常容易受到尘粒、金属的污染，造成晶片内电路功能的损坏、短路或断路等**，导致整个终端报废，清洗工作能有效地使用化学溶液或气体清除残留在晶圆上的微尘、金属离子及有机物等杂质。
清洗工艺在半导体设备市场中的占比维持在6%左右，根据SEMI数据预估2021-2022年市场规模约为49/52亿美元，并且未来每年都保持稳定的增长。
随着节点的推进，清洗工序的数量和重要性会继续提升。工艺技术节点进入28纳米以及14nm等更先进等级，每个晶片在整个制造过程中需要超过200道清洗步骤。
2、竞争格局
清洗工艺可分为干法清洗和湿法清洗两类，目前晶圆制造90%的清洗步骤以湿法工艺为主，大约占比达到90%。在湿法路线下，主流的清洗设备主要包括单片清洗设备、槽式清洗设备、组合式清洗设备和批式旋转喷淋清洗设备等。其中以单片清洗设备为主流，并且维持 10%的年复合增长。
目前全球的清洗设备主要是日本和美国厂商，占据了超过95%以上的市场份额。包括日本的DNS迪恩士、东京电子、韩国SEMES、美国的泛林半导体等。
在国内，清洗领域主要是至纯科技、盛美半导体、北方华创、芯源微等。虽然占比不高，但清洗设备是设备领域突破速度最快的，目前国产化率已经维持在10-20%，超过了其他大部分半导体设备。
在国内的竞争中，由于市场空间足够，因此虽然在技术制程上比盛美半导体落后一些，但从同等工艺产品中，至纯产品的清洗效率是更高的。
3、需求
目前至纯可以提供28nm节点的全部湿法工艺，并且已经切入到中芯、华虹等晶圆厂。自2020年3月开始，公司每月槽式设备交付2-3台，客户包括华润微、楚微、中车、燕东科技、力机电等，全年出货量超过30台，目前订单排产已经到了2022年，未来预计5年200台的装机量。
公司首批单片湿法设备交付并多工艺顺利通过验证，预计在今年下半年会开始交付，届时毛利率会大幅提升。一旦进入供应链后，往往粘性会变得比较强，并且在晶圆厂增加capex的时候会有更多收获，比如2020年核心客户均持续重复采购，如中芯，华力，力晶，长鑫，士兰微，惠科等。
4、供给
公司此前已经通过发行可转债等方式扩大设备的生产能力，如：2019年12月，公司通过发行可转债募资3.47亿元（净额）用于建设半导体湿法设备制造项目和晶圆再生项目。其中的湿法设备在2021年开始投产使用，预计在2022年达产，达产后公司将新增年产槽式半导体湿法清洗设备30台，单片式半导体湿法清洗设备10台的生产能力，预计每年可贡献2.3-2.6亿元的收入，0.32-0.34亿元的净利润。
此外，公司在2020年12月，公司通过定增募资13.55亿元用于半导体湿法清洗设备扩产项目、半导体晶圆再生项目以及光电子材料及器件制造基地建设项目等。2020 年，启东生产基地已投入使用，产能逐步提升。
而近期至纯再次发行11亿元可转债，用于单片湿法工艺模块、核心零部件研发及产业化项目、至纯北方半导体研发生产中心项目、集成电路大宗气体供应站及配套项目以及补充流动资金或偿还银行**。
相比起其他的竞争公司，未来至纯在产能上的优势会体现得非常明显。
5、盈利预估和估值
目前公司在各个业务线都在加速发展，除了上述说到的高纯工艺（预估20-30%的增速）、半导体清洗设备（预估50%的增速）之外，还有光传感及光器件、晶圆再生等业务，多头并进，持续扩大公司的业务增长点。
安信预计公司21-23年收入分别为19.84/27.18/36.69亿元，净利润为3.72/5.1/6.73亿元，对应PE为51x/37x/28x，在估值上具备非常不错的优势。
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