至纯科技——半导体设备技术突破最快的细分领域

2023-04-16 格隆汇

作者 | SuperZ

数据支持 | 勾股大数据(www.gogudata.com)

清洗设备是设备领域突破速度最快的,目前国产化率已经维持在10-20%,超过了其他大部分半导体设备。而今天我们要讨论的这家公司是至纯科技(603690.SH)。

1、公司业务介绍

公司的业务主要分为三个部分,分别为高纯工艺**、半导体设备、光传感及光器件。

高纯工艺**是公司的主营业务,而半导体设备中主要是指清洗设备,这是目前公司最大的成长型业务。

其中占比最大的业务(占营收比例62%)是高纯工艺**的设计、制造和安装调试,主要应用于泛半导体领域(IC晶圆制造、平板显示、光伏、LED等)及生物制药、食品等需要超净生产环境的领域。

而在半导体领域,高纯工艺**占晶圆厂半导体CAPEX的5%-8%,国内晶圆厂新增产线将为公司带来发展机遇。公司高纯工艺**目前已经覆盖了28-65nm的设备,并且有14nm的技术储备,已经切入一线用户,包括中芯国际、华虹华力、华润微、士兰微、长江存储等、台积电、三星等。

这一部分业务比较稳定,未来将随着国内晶圆厂新增产线而呈现线性增长的过程,对公司来说也没有太大的变化,因此不在本文重点讨论的范围。

除此之外,清洗设备相关的业务虽然目前占比不高,但由于至纯在这一块的订单和扩产速度都极快,因此但其成长性更值得我们关注。

一般来说,半导体清洗设备对晶圆制造的良品率影响很大,且贯穿半导体工艺的多个环节,例如单晶硅片制造、光刻、刻蚀、沉积等关键制程及封装工艺后均需要进行,大约占所有芯片制造工序步骤1/3以上。

由于在工艺流程中非常容易受到尘粒、金属的污染,造成晶片内电路功能的损坏、短路或断路等**,导致整个终端报废,清洗工作能有效地使用化学溶液或气体清除残留在晶圆上的微尘、金属离子及有机物等杂质。

清洗工艺在半导体设备市场中的占比维持在6%左右,根据SEMI数据预估2021-2022年市场规模约为49/52亿美元,并且未来每年都保持稳定的增长。

随着节点的推进,清洗工序的数量和重要性会继续提升。工艺技术节点进入28纳米以及14nm等更先进等级,每个晶片在整个制造过程中需要超过200道清洗步骤。

2、竞争格局

清洗工艺可分为干法清洗和湿法清洗两类,目前晶圆制造90%的清洗步骤以湿法工艺为主,大约占比达到90%。在湿法路线下,主流的清洗设备主要包括单片清洗设备、槽式清洗设备、组合式清洗设备和批式旋转喷淋清洗设备等。其中以单片清洗设备为主流,并且维持 10%的年复合增长。

目前全球的清洗设备主要是日本和美国厂商,占据了超过95%以上的市场份额。包括日本的DNS迪恩士、东京电子、韩国SEMES、美国的泛林半导体等。

在国内,清洗领域主要是至纯科技、盛美半导体、北方华创、芯源微等。虽然占比不高,但清洗设备是设备领域突破速度最快的,目前国产化率已经维持在10-20%,超过了其他大部分半导体设备。

在国内的竞争中,由于市场空间足够,因此虽然在技术制程上比盛美半导体落后一些,但从同等工艺产品中,至纯产品的清洗效率是更高的。

3、需求

目前至纯可以提供28nm节点的全部湿法工艺,并且已经切入到中芯、华虹等晶圆厂。自2020年3月开始,公司每月槽式设备交付2-3台,客户包括华润微、楚微、中车、燕东科技、力机电等,全年出货量超过30台,目前订单排产已经到了2022年,未来预计5年200台的装机量。

公司首批单片湿法设备交付并多工艺顺利通过验证,预计在今年下半年会开始交付,届时毛利率会大幅提升。一旦进入供应链后,往往粘性会变得比较强,并且在晶圆厂增加capex的时候会有更多收获,比如2020年核心客户均持续重复采购,如中芯,华力,力晶,长鑫,士兰微,惠科等。

4、供给

公司此前已经通过发行可转债等方式扩大设备的生产能力,如:2019年12月,公司通过发行可转债募资3.47亿元(净额)用于建设半导体湿法设备制造项目和晶圆再生项目。其中的湿法设备在2021年开始投产使用,预计在2022年达产,达产后公司将新增年产槽式半导体湿法清洗设备30台,单片式半导体湿法清洗设备10台的生产能力,预计每年可贡献2.3-2.6亿元的收入,0.32-0.34亿元的净利润。

此外,公司在2020年12月,公司通过定增募资13.55亿元用于半导体湿法清洗设备扩产项目、半导体晶圆再生项目以及光电子材料及器件制造基地建设项目等。2020 年,启东生产基地已投入使用,产能逐步提升。

而近期至纯再次发行11亿元可转债,用于单片湿法工艺模块、核心零部件研发及产业化项目、至纯北方半导体研发生产中心项目、集成电路大宗气体供应站及配套项目以及补充流动资金或偿还银行**。

相比起其他的竞争公司,未来至纯在产能上的优势会体现得非常明显。

5、盈利预估和估值

目前公司在各个业务线都在加速发展,除了上述说到的高纯工艺(预估20-30%的增速)、半导体清洗设备(预估50%的增速)之外,还有光传感及光器件、晶圆再生等业务,多头并进,持续扩大公司的业务增长点。

安信预计公司21-23年收入分别为19.84/27.18/36.69亿元,净利润为3.72/5.1/6.73亿元,对应PE为51x/37x/28x,在估值上具备非常不错的优势。

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