滤波器成为国产射频关键
国内SAW滤波器企业较多,主要生产低端产品。卓胜微、德清华莹等。
卓胜微滤波器业务主要集中在普通 SAW 这块,卓胜微正在布局6 寸滤波器晶圆生产线,预计至 2022 年末晶圆产能可达到 1-1.3 万片/月。
麦捷科技与中电26所生产的SAW滤波器已进入华为、TCL等手机供应链。麦捷科技BAW项目目前处于EC阶段,小批量出货预计将在2023年实现。
无锡好达电子主要产品包括滤波器、双工器和谐振器。2015年,村田SAW滤波器缺货,给了好达发展机遇。但是好达的问题是研发投入不足,产品低端,采用**战争夺市场,后劲成疑。好达电子的SAW滤波器已进入中兴、魅族等手机供应链。
薄膜声表面波滤波器(TF-SAW)是普通SAW滤波器的升级产品,TF-SAW滤波器的晶模面积更小,与BAW滤波器相比具有**优势。
国产高端TF-SAW滤波器在日本的垄断市场撕开一道口子。天通瑞宏发布的B25及B3 1814高端TF-SAW双工器,整体性能比肩国外一流产品。天通瑞宏是国内领先的滤波器IDM公司,累计推出了RX SAW、双工器及DiFEM模组产品50余款。
芯投微的控股子公司NSD拥有完整的WLP-SAW滤波器的知识产权和技术,运用3D封装技术,具备稳定供应WLP滤波器的能力。芯投微我国工厂主要产品是WLP形式的Normal-SAW、TC-SAW和TF-SAW。
BAW滤波器壁垒最高,我国厂商的市场份额约等于0。目前武汉敏芯、开元通信、天津诺思等厂商正在积极布局BAW。
诺思是BAW滤波芯片IDM企业,2015年5月,当时的奥巴马政府宣布逮捕诺思创始人张浩,并连带**其他五名我国公民窃取滤波芯片设计。后来,国资为诺思完成近4亿人民币股权融资,助其达年产20亿颗滤波芯片的产能规模。
诺思在2022年推出了机电耦合系数(Kt²)达到21%以上的BAW谐振器系列产品,Kt²超过当前业界已知报道水平。超高带宽的WiFi 6E滤波器也将在23年初推出。诺思研发生产的BAW产品具有陡峭的滚降、优秀的带外抑制和高隔离度等优势。未来全部滤波器产品的尺寸将降低一个级别。
我国射频代工环节较为薄弱,三安集成、立昂东芯、海威华芯、常州承芯、中电科55所、赛微电子、中芯宁波、中芯绍兴等射频芯片代工厂均在加速扩产。国产射频前端芯片选用的砷化镓晶圆代工厂有:稳懋(WIN)、宏杰科(AWSC)、三安集成、立昂微、福建福联、常州承芯。SOI晶圆厂已经有宁波中芯、华虹宏力、武汉新芯。
2019年开始,中芯宁波快速覆盖了BAW滤波器从晶圆制造到封装测试的全流程,良率和可靠性快速提升。SASFR® 工艺技术和规模制造平台是中芯宁波的核心产品线之一,知识产权完全自主可控。新声半导体在中芯宁波代工的体声波滤波器良率和可靠性快速提升。高频段的BAW体声波滤波器,中芯宁波率先突破代工瓶颈,目前暂时没有竞争对手。必将成为国内设计公司争夺的对象。
三安集成对滤波器的器件研发和制造在2020年正式得以突破。环宇通过投资晶成半导体和常州承芯进军了滤波器市场。相对单纯的MEMS代工厂而言,三安集成、稳懋、环宇、常州承芯等砷化镓代工厂本身就有PA代工业务,拥有强大的产业资源,能提供射频PA和滤波器的集成解决方案,更具竞争优势。
三安的SAW滤波器客户已达数十家,产量跃升至最近的月产1000万颗,但是产品也是偏低端,与好达争夺市场,如果不能在BAW滤波器有所突破,面临发展瓶颈。
北纬三十八度定位为SAW滤波器和PA晶圆代工厂。其产品可以直接集成在模组中,尾藤为首的日本专家曾在NEC等大厂有二十多年的从业经验。北纬公司工艺更新周期短,工艺难度更高的TC-SAW滤波器,则是已完成工艺研发,性能领先业界。2021年北纬三十八度集成电路制造有限公司为新声半导体代工的SAW滤波器,已投入量产且达到发货水准。
2022年6月13日,赛微电子发布公告称,子公司赛莱克斯北京代工制造的某款 BAW通过了客户验证,北京 FAB3 启动首批 BAW 滤波器 8 英寸晶圆的小批量试生产。北京赛莱克斯拥有8英寸MEMS国际代工线。
武汉敏声致力于射频前端滤波器制造及其产品应用方案的实施,产品同时覆盖压电式麦克风以及超声传感器等MEMS器件,是一家集设计、生产、销售为一体的IDM/CIDM公司。武汉敏声具备正向研发IP的全面技术实力,自主开发技术完成多款BAW滤波器的正向研发,已达到商用标准。
2022年12月27日,锐石创芯重庆滤波器生产基地项目一期首台光刻机入厂,锐石创芯MEMS器件生产基地将生产4G/5G用MEMS滤波器芯片。锐石创芯己陆续推出4G Phase2、5G Phase5N、n41 L-PAMiF、n77/n79 L-PAMiF、WiFi PA、NB-IOT PA等高性能射频产品。
敏芯股份MEMS麦克风传感器芯片出货量已经位居全球第三。2021年,苏州MEMS中试fab平台建成投产。目前,小米、联想、三星、百度、阿里巴巴等品牌都用上了敏芯股份MEMS声学传感器产品。
附:国内滤波器供应商
公司 主营方向
天津诺思 FBAR
苏州汉天下 FBAR
厦门开元 FBAR+SAW
武汉衍熙 FBAR
珠海晶讯聚震 FBAR(单晶)
杭州见闻录 FBAR
武汉敏声 FBAR
成都芯仕成 FBAR
蓉威创芯 FBAR
深圳华芯无线科技 FBAR
深圳偲百创 FBAR
深圳新声半导体 FBAR+SAW
浙江信唐智芯 FBAR+SAW
广东广纳芯 SAW
杭州左蓝微 SAW
中电26所(重庆) FBAR+SAW
中电55所(南京) SAW
无锡好达 SAW+BAW
德清华莹 SAW
深圳麦捷科技 SAW
深圳信维通信 SAW
厦门三安光电 SAW
无锡卓胜微 SAW
成都频苛微 SAW
湖北宙讯 FBAR+SAW
广东众拓广电 FBAR(单晶)
北京超材 SAW
安徽云塔 IPD+SAW
上海芯和半导体 IPD+FBAR
深圳顺络电子 LTCC
苏州林禾 LTCC
张家港声芯 SAW
绍兴奇思微 FBAR?
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