老美企图堵死我国,谁料我国暗中发力,高端光刻机**在即
2023年1月27日**的美国勾结荷兰、日本达成了新的光刻机禁售协定,荷兰可能升级对我国禁止出口高端光刻机,可能将深紫外线(即DUV)光刻光列入本次禁止出口范围。上一次的禁售是2018年的极紫外线(EUV)光刻机。
自2018年禁售,很多人,特别是键盘侠“呐喊”要自研自造高端光刻机,轰轰烈烈,仿佛高端制程光刻机一蹴而就。现在已经5年了,自研高端光刻机到底怎么样了?有谁成功制造出来了?
上海微电公司高端光刻机研制国人寄予了厚望
极紫外线(EUV)光刻机可以生产2-7纳米的高端芯片,应用于智能手机、虚拟币探矿机上。深紫外线(EUV)光刻机可生产14-90纳米的次高端芯片,主要应用于平板电脑、汽车AI控制、工业机械自动化控制、军工等领域,范围广,需求量大,由于贸易战、疫情等原因,世界性缺芯严重,对我国的影响特别深,如果3月1日升级禁售深紫外线光刻机,相关行业将受到严重打击。因为我们的高端光刻机研制尚未成功!
长**机所是国产高端EUV光刻机的牵头人
自研高端光刻机,目前我国人还不行。不过值得欣慰的是,还真有人在研制高端光刻机。
据有关消息,目前有国内有三个单位正在研制高端光刻机。这三家公司分别是上海微电子、我国电科和长**机所。上海微电和我国电科承担了深紫外线(DUV)光刻机研发任务,长**机所承担了极紫外线(EUV)光刻机研发的任务。
目前上海微电、我国电科的次高端制程前道光刻机和长**机所高端前道光刻机研制到底到了何种程度尚未有最新的确切消息,但可以猜测一下,可能已经到了验证装置整机装配调试阶段。更有小道消息称,上海微电14-28纳米前道光刻机样机正在装配调试,一旦成功,意味着深紫外线(DUV)很快就可以实现国产化,我们将无惧荷兰深紫外线光刻机的禁售**。而长**机所在极紫外线光刻机研制方面也取得了突破性的成绩,初步实现了极紫外线光刻原理的应用验证成果,离制样机又近了一步。
2022年7月某调研我国电科光刻机装配调试现场
说我国人研制高端光刻机,还真的是要面对现实,承认目前确实还不行。我国国产高端光刻机研制不是喊喊口号就能成功的,现在是说做的人多,真正在做的人少。所幸的是,我们已经有人在实打实地干,也已干出了成绩。
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