每经记者：朱成祥 每经编辑：董兴生

5月14日，微导纳米披露了首轮问询函回复报告。微导纳米已不是第一次闯关科创板， 2020年6月，公司科创板IPO申请就曾被上交所受理，不过后又于2020年12月终止审核。彼时，系微导纳米主动撤回上市申请。

2022年3月，微导纳米再度闯关科创板。在首轮问询中，上交所要求公司就科创属性等诸多问题作出回复。

微导纳米主营ALD设备，主要下游客户为光伏电池厂商。目前，光伏行业正在经历一场N型电池的变革浪潮，具体方向包括TOPCon路线、HJT异质结路线以及IBC路线。对于未来光伏行业路线的选择是否会对公司业绩带来影响等问题，《每日经济新闻》记者于5月17日致电微导纳米董秘办公室，不过电话未能接通。

微导纳米产品以ALD为主

微导纳米产品主要用于光伏产业链的中游环节，为太阳能电池片厂商提供镀膜设备，用于在电池片正面或背面镀Al2O3和SiNX，是光伏电池片生产环节的关键工艺设备。

微导纳米以原子层沉积（ALD）技术为核心，主要从事先进微、纳米级薄膜沉积设备的研发、生产和销售，向下游客户提供先进薄膜沉积设备、配套产品及服务。

自2017年以来，PERC电池逐渐成为主流太阳能电池片技术路线。而实现PERC电池的量产，背钝化设备是其中的关键设备。PECVD和ALD正是两种最主要的背钝化技术。

不管是ALD还是PECVD，都属于薄膜沉积工艺。而薄膜沉积设备通常用于基底上沉积导体、绝缘体或者半导体等材料膜层，使之具备一定的特殊性能，广泛应用于光伏、半导体等领域的生产制造环节。

按照工艺原理不同，薄膜沉积设备可分为物理气相沉积（PVD）、化学气相沉积（CVD）和原子层沉积（ALD）设备。

据微导纳米招股书，在光伏制造领域，PVD设备可用于HJT光伏电池透明电极；CVD设备可用于PERC电池背面钝化层、PERC电池减反层，TOPCon电池接触钝化层、减反层，HJT电池接触钝化层；ALD设备可用于PERC电池背面钝化层，TOPCon电池隧穿层、接触钝化层、减反层。

目前，光伏电池主要有两大发展方向，分别为TOPCon电池和HJT电池，不管哪种方向成为主流，均有CVD设备的用武之地。而ALD设备可用于TOPCon电池，但招股书并未提及可用于HJT电池。

当下主流光伏设备厂商中，捷佳伟创、北方华创主要提供PECVD设备，据微导纳米首轮问询回复报告，2020年，两家公司光伏PECVD设备营业收入分别为21.58亿元、3亿元~5亿元。而微导纳米2020年营收3.13亿元，均为光伏ALD业务收入。

未来技术路线之争：设备偏重TOPCon

根据我国光伏行业协会《2020-2021年我国光伏产业年度报告》，PERC产业化生产常用的Al2O3镀膜设备产能指标中，ALD设备优于PECVD设备。捷佳伟创、Centrotherm技术类型为PECVD，产能分别为5700片/小时、6000片/小时；而理想晶延、微导纳米技术类型为ALD，产能分别为7200片/小时、10000片/小时。

图片来源：公告截图

可以看出，在PERC生产中，ALD设备技术指标更高。

不过，若是未来技术路线倒向HJT电池，是否会对微导纳米产生冲击？在问询函中，上交所科创板上市委要求其说明，光伏领域的市场份额占比情况与技术难度差异，各技术路线的发展趋势及相互转换的难度，ALD 技术能否应用于新型电池技术路线，结合三类技术（PVD、CVD和ALD）的优劣势、下游技术路线变化情况、客户需求、设备成本，说明光伏领域ALD技术是否存在被取代的风险。

从订单情况看，微导纳米2021年签署3份新型高效电池产线重大销售合同，技术路线均属于TOPCon，2022年2月、3月，微导纳米又签署4份新型高效电池产线重大销售合同，一份为TOPCon，2份为HBC电池，还有一份来自珠海富山爱旭太阳能科技有限公司的N型高效电池。该公司为上市公司爱旭股份全资子公司，而爱旭股份倾向于发展ABC电池。

由此可见，微导纳米取得的7份重大销售合同中，没有一份与HJT电池产线建设相关。另外，微导纳米承认，设备厂商需要针对三种技术路线（PVD、CVD和ALD）的技术难点和应用领域，分别对相关工艺和产品进行设计和开发，三种技术路线之间无法直接相互转换。

公司表示，下游技术路线处于多种技术并行状态，虽然公司的ALD技术已在 TOPCon电池应用中展现出一定的优势，但如果未来其他电池技术路线的产线投资和运营成本显著下降，而公司的 ALD技术、CVD技术未能在该电池技术路线的应用上形成有效突破，则会对公司未来在光伏领域的发展造成不利影响。

不过，微导纳米也认为，目前下一代高效电池技术聚焦在N型单晶硅电池TOPCon和HJT上。当前HJT产线仍处于磨合期，由于设备投资较高、非硅成本难以快速下降的问题，虽然国内电池片厂商产能布局较多，但实际落地项目偏少。TOPCon电池在产业化过程中已获得先发优势。

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