MEMS全称是微型电子机械**(Micro Electromechanical System)，利用半导体制造工艺和材料，将传感器、执行器、机械机构、信号处理和控制电路等集成于一体的微型器件或**，其内部结构一般在微米甚至纳米量级。与传统传感器相比，MEMS传感器具有体积小、集成化、智能化、低成本等...