KLA 垄断前道检测设备，本土厂商锋芒初见。目前国内前道测试设备与国外相比差距较大，美国KLA 一家独大，占据半壁江山，AMAT 和Hitachi 占比也都超过10%，三家合计市占率达75%。本土厂商中，中科飞测在检测设备领域实现突破，在长江存储中标5 台表面形貌检测设备，国内厂商睿励科学和上海精测...