ASML光刻机光刻机是制造微机电、光电、二极体大规模集成电路的关键设备。可以分为两种，分别是模板与图样大小一致的contact aligner，曝光时模板紧贴晶圆；以及利用类似投影机原理的stepper，获得比模板更小的曝光图样。光刻机是生产大规模集成电路的核心设备，其制造和维护均需要先进和强大的光...